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拓日視頻

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是一種在惰性氣體(氮氣、)環境中,用石墨加熱器將 晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。

主要構成如下

提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成

副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成 l

爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成 l

爐筒:包括取光孔 l

下爐筒:包括抽真空管道 l

底座機架:全鑄鐵機架和底座 l

坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成 l

分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等 l

氬氣管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件 l

真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等 l

電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線 l

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